پمپهای خلاء کمپرسورهایی هستند که ورودی آنها به محفظه ای متصل است که در آن خلا ایجاد می شود. برای پمپهای خلاء کوچک میتوان از روغن کمپرسور VDL استفاده کرد. در پمپ های خلا بزرگتر می توان از روغن سنتزی استری با فشار بخار کم استفاده کرد. در شرایطی که پمپ خلا با گازهای دیگری غیر از هوا کار می کند باید روغنی برای روانکاری انتخاب شود که با آن گاز سازگار باشد.
پمپ ها اغلب تحت فشار ناشی از عملکرد پیوسته و نیروهای شدید قرار دارند. بنابراین، کیفیت مناسب روغن و روغن کاری به موقع پمپ ها، یکی از نیازهای اولیه برای عمر طولانی و عملکرد عاری از اشکال آنها می باشد. روغن مصرفی در عملیات روانکاری نباید حاوی ذرات خارجی و یا اسیدهای شست وشو باشد. حداقل نیازهای روغن هاي روان ساز مناسب، در استانداردهاي مشخصي تعيين شده است. به این ترتیب تمامی عرضه کنندگان روغن های روان ساز در تلاش هستند که محصولات خود را بر این اساس طبقه بندی نموده و محصولی ارائه نمایند که از این استانداردها پیروی نماید. شکست در زمینۀ روان سازی و روغن کاری (عدم نگه داری بهینه، استفاده از روان سازهایی با کیفیت نامناسب، نشتی و ...) و انتخاب روغن پمپ وکیوم مناسب میتواند موجب بالا رفتن دمای سطح پوشش پمپ تا میزان غیر قابل قبولی شود.